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来源:ml体育官网 发布时间:2026-03-31 17:12:30
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来自XL-80激光头的光束进入线性干与镜,在此光束被分红两束。一束光(称为参阅光束)被引向装在分光镜上的反射镜,另一束光(丈量光束)则穿过分光镜抵达第二个反射镜。然后,两束光都被反射回分光镜,在此它们重新组合并被导回到激光头,激光头内的探测器监测两束光之间的干与。
一般在线性丈量过程中,一个光学组件坚持静止不动,另一个光学组件沿线性轴移动。经过监测丈量光束和参阅光束之间的光路差异的改变,发生定位精度丈量值(留意,它是两个光学组件之间的差异丈量值,与XL激光头的方位无关)。此丈量值能够与抱负方位比较,取得机床的精度差错。
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